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三轴导轨均采用高精密天然花岗岩★✿◈,具有相同的温度特性及刚性 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承新万博亚洲币游国际★✿◈,运动更平稳★✿◈,导轨永不受磨损 单边驱动活动桥式结构★✿◈,显著提高运动性能★✿◈,确保测量精度及稳定性 Y轴采用整体燕尾式导轨★✿◈,有效消除了运动扭摆★✿◈,保证了测量精度及稳定性 欧洲开放式金属光栅尺新万博亚洲★✿◈,分辨率0.4 um 控制系统采用欧洲高速高精度自动控制系统★✿◈,该系统内嵌32位微处理器★✿◈,线; 三轴均采用大功率驱动器★✿◈、电机及双级减速装置币游国际★✿◈,确保传动迅速★✿◈、准确
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